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三氟化氮

纯度:99.999%

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产品参数 产品用途 储装运输 注意事项 急救处理

基本信息:

 三氟化氮 纯度:99.999%

 中文名:三氟化氮

 英文名:nitrogen trifluoride

 CAS 注册号:7783-54-2

 分子式:NF3

 分子量:71.0019

 主要成分:纯品

 外观与性状:无色、带霉味的气体

 溶解性:不溶于水

 主要用途:用作高能燃料

 废弃处置方法:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法

物理性质:


化学性质:

 

稳定性

 

化学性质稳定,一般条件下在水与碱溶液中均不反应(三校合编无机化学第四版下册534页),只有当放电时在水中才发生NF3+2H2O==放电==HNO2+3HF。F的电负性大于H,因此NF3中的孤对电子云由于向F偏移而导致电子云密度比在NH3中低,配位能力下降,因此质子化时放热小于NH3。偶极矩与上面类似,大概就是由于电负性的增强导致偶极矩的降低。

 

禁配物:还原剂、易燃或可燃物。

 

急性毒性

 

LD50

 

LC50:19000mg/m3,1小时(大鼠吸入);5600mg/m3,4小时(小鼠吸入)

三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。

 

 

三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。

 

随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。

运输注意事项:

铁路运输时须报铁路局进行试运,试运期为两年。试运结束后,写出试运报告,报铁道部正式公布运输条件。

 

采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。

 

钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。

 

严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。

 

夏季应早晚运输,防止日光曝晒。

 

公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。

 

铁路运输时要禁止溜放。

 

 

储存注意事项:

 

储存于阴凉、通风的库房。

 

远离火种、热源。

 

库温不宜超过30℃。

 

应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。

 

储区应备有泄漏应急处理设备。

 

 

操作注意事项

 

严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩),戴化学安全防护眼镜,穿防毒物渗透工作服,戴橡胶手套。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈,防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

 

职业接触限值

 

中国MAC(mg/m3): 1

 

前苏联MAC(mg/m3): 未制定标准

 

TLVTN: ACGIH 10ppm,29mg【F】/m3

 

TLVWN: 未制定标准

 

工程控制: 严加密闭,提供充分的局部排风和全面通风。

 

呼吸系统防护: 空气中浓度较高时,应该佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。

 

眼睛防护: 戴化学安全防护眼镜。

 

身体防护: 穿防毒物渗透工作服。

 

手防护: 戴橡胶手套。

 

其他防护: 工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。

 

工作时必须要保护皮肤。气瓶要远离火种、热源、应与有机物、可燃物、油脂、还原剂及氢分开存放。

 

NF3为腐蚀性气体,在<200℃时可用不锈钢、铜、蒙乃尔。在更高的温度可用镍和蒙乃尔。可以用聚四氟乙烯、三氟氯乙烯树脂和聚三氟氯乙烯聚合体。灭火可用雾状水和泡沫。泄漏的气体可用排风机排送至通风橱内。废气或废液要用还原剂(酸式亚硫酸钠、亚铁盐等)溶液处理后,用碱灰或稀盐酸中和,再用大量水稀释后排入下水道。< p="">

皮肤接触

 

脱去污染的衣着,用流动清水冲洗。若有灼伤,就医治疗。

 

眼睛接触

 

立即翻开上下眼睑,用流动清水冲洗15分钟。就医。

 

吸入

 

迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅,呼吸困难时给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。就医。

 

泄漏处理应急处理

 

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。