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磷烷

纯度:99.9997%

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产品参数 产品用途 储装运输 注意事项 急救处理

基本信息:

 磷烷 纯度:99.9997%

 中文名:磷烷

 中文别名:磷化氢

 英文名:phosphine

 英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;

phosphorus hydride; Phosphorus trihydride

 CAS 注册号:7803-51-2

 分子量:34.0

 分 子 式:PH3 

 分 子 量:34.04   

 毒 性:剧毒

 摩尔质量:146.05

 CAS 登录号:2551-62-4 

 外观与性状:无色气体,有蒜臭味

 性质:无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。应用于多种化学反应中

物理性质:

注:磷烷在 3 7 5°C以上要发生分解 ,分解成 P和H 2 ,其反应:2PH 3→2P+ 3H2↑

 

磷烷的碱性比氨弱 ,但还原性较强,能使许多氧化剂还原,

 

如:KMnO 4 、I2 等溶液,这一特征是氧化法解毒的基础。

 

用于缩合催化剂,聚合引发剂及制备磷的有机化合物。

在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。

 

其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。

一、泄漏应急处理

 

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并立即隔离450米,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能,将漏出气用排风机送至空旷的地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。

 

二、防护措施

 

呼吸系统防护:正常工作情况下,佩带过滤式防毒面具(全面罩)。高浓度环境中,必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴空气呼吸器。

 

眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。

 

身体防护:穿面罩式胶布防毒衣。

 

手防护:戴橡胶手套。

 

其它:工作现场严禁吸烟、进食和饮水。工作毕,淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。

 

三、急救措施

 

吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

 

灭火方法:消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风处灭火。切断气源。若不能立即切断气源,则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。